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电子探针


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电子探针定量分析过程中仪器的安装要求、工作条件、标样选择、基本操作过程、各种 校正处理方法及结果报告内容 本标准适用于具有波谱仪的电子探针分析仪对试样中各元素组成定量分析测量及数据处理 。 GB/T4930微束分析电子探针分析标准样品技术条件导则(GB/T4930-2008,IsO14593 2003,DDT) GB/T20725波谱法定性点分析电子探针显微分析导则(GB/T20725-2006,ISO1747012004 IDT) ISO22309:2006微束分析能谱定量分析 1so23833:2006微束分析电子探针微分析(EPMA)术语 ISO/EC17025:2005检测和校准实验室能力的通用要求 。

方法原理： 电子探针定量分析是应用具有一定能量并被会聚的电子束轰击试样,被照射区试样表面各元素激 发出具有该元素特征波长的X射线,通过波谱仪对X射线进行分光,并对其中各元素的特征X射线强 度进行测量,并和相同条件下的标准样品的X射线强度进行比较,经校正计算,从面获得试样被激发区 内各元素的含量值 电子探针定量分析是一种微区(微米量级)成分相对比较的物理分析方法。


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