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场发射扫描电镜


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场发射扫描电子显微镜（FESEM）是电子显微镜的一种。该仪器具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子象观察及图像处理。该仪器利用二次电子成像原理，在镀膜或不镀膜的基础上，低电压下通过在纳米尺度上观察生物样品如组织、细胞、微生物以及生物大分子等，获得忠实原貌的立体感极强的样品表面超微形貌结构信息。具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。 扫描电子显微镜因其分辨率高、景深大、图像更富立体感、放大倍数可调范围宽等优点而被广泛应用于半导体、无机非金属材料及器件等的检测。随着我国经济的迅速发展，高校、科研单位、企业等大量引进了场发射扫描电子显微镜。但是在扫描电子显微镜的使用过程中，特别是在安装初期，使用者通常由于对电镜的运行状态缺乏系统认识，经常会遇到软件死机、样品台被卡、真空问题等多种故障。解决方式一般为请维修工程师上门维修，除花费时间和费用外，也造成了对电镜操作者的心里束缚。笔者以德国蔡司ULTRA　PLUS扫描电子显微镜为例，从环境条件、光学系统、真空系统及附件设施4个方面总结了热场发射扫描电子显微镜运行状态的几种检查方法和维护保养经验，并结合故障实例进行了分析。


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